Kostum monster Godzilla biasanya dibuat dari latex, dengan ditambah berbagai macam lapisan (terutama lapisan tahan api). Kostum tersebut dibuat cukup tebal sehingga si pemakai tidak akan terluka oleh pancaran api dari mulut Godzilla. Gigi Godzilla pada awalnya dibuat dari kayu, tapi belakangan mulai digantikan oleh bahan resin. Kostum tersebut memiliki lubang kecil di leher yang memungkinkan sang aktor untuk melihat keluar. Bagian kepala dari kostum terdiri dari komponen mekanis yang bisa dikendalikan dari jauh untuk menggerakkan mata dan mulut.

Memakai kostum Gozilla merupakan siksaan tersendiri bagi para aktornya, terutama pada zaman dahulu, ketika studio produksi masih sangat panas dan belum dilengkapi AC. Kebanyakan aktor hanya sanggup memakainya selama 3 menit. Keadaan mulai berubah ketika studio Tsuburaya mulai menggunakan AC, dan sejak film Godzilla 2000: Millennium, sebuah selang oksigen diselipkan ke dalam kostum Godzilla melalui lubang kecil di bagian ekornya, selang tersebut langsung terhubung ke bagian leher kostum Godzilla, sehingga sang aktor pemakai bisa bernapas lega. Tsutomu Kitagawa, salah satu aktor yang pernah memakai kostum Godzilla, pernah mengatakan "sangat tidak dianjurkan bagi penderita claustrophobia untuk berperan sebagai Godzilla."

Sementara untuk kostum Ultraman biasanya menggunakan kostum ketat berbahan latex yang serupa dengan kostum yang digunakan oleh para penyelam. Helm Ultraman pada awalnya juga dibuat dari latex, tetapi kemudian diganti dengan fiberglass. Seperangkat alat elektronis memungkinkan mata dan Colortimer untuk menyala dan berkedip. Superhero dari Toei menggunakan bahan yang berbeda-beda untuk kostumnya, mulai dari bahan kulit, vinyl, sampai bahan kain. Sejak film Kagaku Sentai Dynaman, semua anggota Sentai memakai kostum spandex. Helm mereka dibuat dari fiberglass, dan memiliki alat pengait untuk membuka tutup helmnya.

Teknik efek khusus Jepang tidak selalu hanya menggunakan aktor berkostum. Bahkan film Godzilla yang pertama diproduksi pada tahun 1954 menggunakan berbagai teknik yang cukup canggih pada waktu itu untuk menghasilkan efek khusus yang diperlukan. Selain menggunakan Suitmation Godzilla, Eiji Tsuburaya juga menggunakan berbagai macam boneka untuk efek khususk, baik boneka tangan, maupun boneka animatronic, yang bisa mengeluarkan kabut asap untuk menciptakan ilusi seolah-olah Godzilla menyemburkan napas radio-aktif. Tsuburaya bahkan pernah menggunakan teknik stop-motion untuk menggerakkan ekor Godzilla (kabarnya Tsuburaya sebenarnya menginginkan teknik stop-motion untuk semua adegan di film Godzilla, tetapi pihak Toho menolaknya, karena teknik stop-motion terlalu mahal dan dianggap buang waktu; Studio film Jepang pada umumnya hanya memiliki budget yang rendah dan jadwal produksi yang sangat padat).

Film-film Godzilla terbaru mulai menggunakan berbagai macam efek yang berbeda untuk menggerakkan monster-monster tersebut. Pada tahun '60-an, mereka menggunakan boneka mekanik berukuran kecil yang direkam dari kejauhan. Sejak tahun '80-an, mereka menggunakan teknik robotic animatronic supaya Godzilla bisa keliatan lebih hidup dan realistik (di film The Return of Godzilla mereka menggunakan "Cybot Godzilla" setinggi 6 meter dan mereka menggunakan boneka miniatur Godzilla di film Godzilla Vs. Biollante). Mereka juga menggunakan efek menyala pada sirip punggung Godzilla yang terbuat dari fibre reinforced plastic, dan bahkan di beberapa film terbarunya, mereka sudah mulai menggunakan CG untuk menciptakan efek tersebut.

Prinsip yang sama digunakan juga untuk film superheroes (pahlawan super) lainnya; Beberapa pahlawan super (seperti Kikaider dan Gavan) menggunakan komponen elektronik yang bisa menyala untuk keperluan close-up shot.

Supaya bisa bersaing dengan produksi Hollywood, film tokusatsu harus mulai menggunakan CGI. Film Heisei Gamera sudah menggunakan CGI sebagai efek khusus. Dan film-film Godzilla terbaru juga sudah menggunakan teknik efek khusus CGI. Teknik ini memungkinkan Godzilla untuk berenang di dalam air seperti ikan paus. Sekarang sudah banyak film superhero yang menggunakan CG, mulai dari adegan Ultraman terbang di udara, adegan henshin Kamen Rider, hingga ke adegan robot raksasa di serial Sentai, semua sudah menerapkan CG. Bahkan sejak zaman dulu, efek khusus CG sederhana sudah digunakan untuk beberapa efek optikal, misalnya efek tembakan laser, peluru kendali, dan efek ledakan.
Film tokusatsu lainnya yang sudah menggunakan CG antara lain Crossfire dan Casshern (remake dari serial anime tahun 1973 karya Tatsuo Yoshida).

• Daiei Motion Picture Company
  
• Nikkatsu Corporation
  
• Nippon Gendai
  
• P Productions
  
• Senkosha
  
• Shintoho Company Ltd.
  
• Shochiku Company, Ltd.
  
• Toei Company, Ltd.
  
• Toho Company, Ltd.
  
• Tsuburaya Productions